2019第十屆中國(guó)國(guó)際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)

基本信息

CHInano中國(guó)納博會(huì)?經(jīng)過(guò)九年的潛心耕耘，已成為中國(guó)規(guī)模最大、影響力最廣的納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)交流盛會(huì)，是納米企業(yè)形象展示、產(chǎn)品推介、技術(shù)交流、市場(chǎng)拓展的最佳舞臺(tái)。
CHInano 2018第九屆納博會(huì)組織了1場(chǎng)主報(bào)告和13場(chǎng)主題論壇，221個(gè)行業(yè)報(bào)告，邀請(qǐng)國(guó)內(nèi)外院士23人。設(shè)置了13000平方米展區(qū)，吸引了國(guó)內(nèi)外7個(gè)展團(tuán)、25個(gè)國(guó)家、1000多家納米技術(shù)相關(guān)企業(yè)參展、參會(huì)，展出1300多件納米技術(shù)創(chuàng)新產(chǎn)品，大會(huì)期間參會(huì)參展人數(shù)規(guī)模超過(guò)14016人。

展品范圍

MEMS 加工設(shè)備
薄膜成形（汽相淀積、濺射、CVD、覆鍍；曝光系統(tǒng)、蝕刻技術(shù)；防腐處理；刻蝕；晶圓鍵合；切割；芯片/導(dǎo)線焊接；封裝；微成形 (注射, 熱壓)；其他生產(chǎn)設(shè)備
納米壓印技術(shù)
微納米模型；納米壓印生產(chǎn)設(shè)備
納米機(jī)械
微制程技術(shù)
超精度納米機(jī)械工藝；超精密加工, 微制造；表面微加工；精細(xì)鉆孔；微觀切割；雷射、離子脈沖加工；聚焦離子束系統(tǒng)；微放電加工；超聲波設(shè)備等
分析與檢測(cè)儀器
光罩缺陷檢測(cè)、封裝檢測(cè)、表面分析儀器、粗糙度儀、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)；顯微鏡：光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀；檢漏儀器、靜電負(fù)離子空氣凈化機(jī)；氣體分析及檢測(cè)、分析和測(cè)量系統(tǒng)
軟件建模
設(shè)計(jì)工具、仿真軟件、CAD & CAE分析軟件
MEMS 代工服務(wù)
仿真設(shè)計(jì)、原型測(cè)試、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、量產(chǎn)；其他代工服務(wù)：圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍
材料
壓電薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、抗壓材料、附著材料、保護(hù)材料；碳納米管、藍(lán)寶石、聚合物、陶瓷；LTCC 基板Glass substrate、SiC；磁性材料、鐵電性材料
生物技術(shù)
與醫(yī)療應(yīng)用
MEMS 在醫(yī)療處理及診斷方面的應(yīng)用、DDS、納米膠囊；尖端DNA & RNA 技術(shù)、微反應(yīng)器、微流引導(dǎo)等
MEMS 器件
光學(xué)MEMS (反射, 光量開(kāi)關(guān), 掃描等)；射頻MEMS (開(kāi)關(guān)，振蕩器，過(guò)濾)；MEMS物理傳感器 (加速傳感器，速率傳感器，壓力傳感器，氣體傳感器，溫度傳感器)；微射流（微流引導(dǎo)，微感應(yīng)器等）；MEMS執(zhí)行器（燈，泵）；MEMS電能（燃料電池，微發(fā)電機(jī)等）；生物/化學(xué)MEMS（DNA/RNA技術(shù)，化學(xué)檢測(cè)等）；高復(fù)合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一體化)
MEMS 應(yīng)用
產(chǎn)品 (麥克風(fēng),顯示等)；超微型機(jī)械人裝置、微型工廠等；傳感器網(wǎng)絡(luò)；能量收集

主辦信息

指導(dǎo)單位：
中國(guó)科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)
中國(guó)科學(xué)院
主辦單位：
中國(guó)微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)
中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)
中國(guó)材料研究學(xué)會(huì)納米材料與器件分會(huì)
合作伙伴：
中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)
中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
蘇州中科院產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新與育成中心
承辦單位：
江蘇省納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心
中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)
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